(нем. Vorvakuum, от нем. vor - впереди, перед и лат. vacuum - пустота) - вакуумный насос, предназнач. для поддержания давления в выходном сечении высоковакуумного насоса, к-рый только при этом может обеспечивать заданные параметры откачки. В качестве Ф. н. могут применяться пластинчато-роторные, золотниковые и др. вакуумные насосы, к-рые создают вакуум до 0,1 Па.